Магниторазрядные насосы достаточно популярны. Они работают в широком диапазоне давлений, не вызывают трудностей при эксплуатации и имеют большой ресурс работы. Но не лишены они и недостатков.
Содержание:
- Магниторазрядные насосы - принцип действия
- Механизм работы ионных насосов
- Использование магниторазрядного вакуумного оборудования
- Сравнение геттерно-ионных аппаратов
Магниторазрядные насосы
Магниторазрядные насосы - принцип действия
Активные газы откачиваются магниторазрядным насосом благодаря протеканию процесса хемосорбции газов. Химособрация, простыми словами, - процесс превращения газов в летучее или малорастворимое состояние.
Во многих установках в качестве распыляемого вещества выступает титан. Использование именно этого компонента связано с тем, что он имеет высокую энергию сорбции, которая прочно удерживает молекулы.
Магниторазрядные насосы - принцип действия
В вакуумном оборудовании происходит сорбция ионизированных молекул геттерами. Для достижения максимальной эффективности процесса в насосах используется электрическое поле. Благодаря его действию сила «вбивания» ионизированных молекул значительна выше.
Магниторазрядный насос состоит из:
- Корпуса.
- Фланца крепления.
- Ячеистого анода.
- Катода.
- Магнита.
- Переключателя.
- Дополнительного сопротивления.
- Амперметра.
- Высоковольтного источника.
- Токоввода.
Механизм работы ионных насосов
Ячейки пластин титановых катодов и анодов могут иметь прямоугольную или круглую форму. В любом случае они формируют электродный блок, который перемещает магнитное поле. Каждая рабочая разрядная ячейка образуется парой отверстий анода и катода.
Механизм работы ионных насосов
Разряд между ячейками возникает при нахождении там нескольких электродов. Действие магнитного поля приводит к движению этих электродов, которые на своем пути ионизируют газ. Это приводит к образованию положительных ионов и бомбардировке катода. В целом, быстрота действия устройства зависит использования определенной рабочей смеси.
Использование магниторазрядного вакуумного оборудования
Наиболее широкое применение установки находят в сфере исследований и разработок. Чаще всего используются в ускорителях частиц, синхротронных источниках света, линейных ускорителях, бустерных синхротронах, периферийном оборудовании, синхротронных каналах.
Сравнение геттерно-ионных аппаратов
Геттерно ионные аппараты отличаются друг от друга по нескольким составляющим: глубине откачки, скорости откачки. Эти параметры во многом зависят от работы с определенным газом. Но в основном от конструкции, рабочей площади катода и анода.