Вакуумный манипулятор UHV Design TETRAXE TTX40-100

Характеристики

Категория

Вакуумный манипулятор

Производитель

UHV Design

Страна

Великобритания

Назначение

Промышленный

Серия

TETRAXE

Модель

TTX40-100

Шаг винта по оси X и Y, мм

0,5

Векторный ход к концевым выключателям, мм

+ -17,7

Векторное движение к жестким остановкам, мм

+ -17,7

Разрешение микрометра по оси X и Y

0,001 мм

Изменение параллелизма фланца

<2 mrad

Наклон фланца

+/- 2 градуса

Дополнительные порты

4 порта CF16 на фиксированном фланце

Линейное разрешение на 1/2 шага, мм

0,00125

Максимальный консольный момент

10 Nm

Максимальный диаметр зонда для полного хода, мм

13

Шаг ходового винта, мм

2

Ход до концевых выключателей, мм

+-12,5

Ход до жесткого упора, мм

+-12,5

Макс. нагрузка, перпендикулярная к оси (на конце вала)

200 N

Температура выпекания, °C

250

Диаметр трубы, мм

39

Ход по Z, мм

25-300

Подвижный фланец

CF40 (2 3/4")

Базовый фланец

CF (6")

Разрешение

0,002 мм