Вакуумный манипулятор UHV Design TETRAXE TTX63-100

Характеристики

Категория

Вакуумный манипулятор

Производитель

UHV Design

Страна

Великобритания

Назначение

Промышленный

Серия

TETRAXE

Модель

TTX63-100

Шаг винта по оси X и Y, мм

0,5

Векторный ход к концевым выключателям, мм

+-21

Векторное движение к жестким остановкам, мм

+-21

Разрешение микрометра по оси X и Y

0,001 мм

Изменение параллелизма фланца

<2 mrad

Наклон фланца

+/- 2 градуса

Дополнительные порты

-

Линейное разрешение на 1/2 шага, мм

0,00125

Максимальный консольный момент

10 Nm

Максимальный диаметр зонда для полного хода, мм

22

Шаг ходового винта, мм

2

Ход до концевых выключателей, мм

+-15

Ход до жесткого упора, мм

+-15

Макс. нагрузка, перпендикулярная к оси (на конце вала)

200 N

Температура выпекания, °C

250

Диаметр трубы, мм

65

Ход по Z, мм

25-300

Подвижный фланец

CF63 (4 1/2")

Базовый фланец

CF100 (6")

Разрешение

0,002 мм