Цифровой вакуумметр ионизационный MKS Instruments Series 390 Micro-Ion ATM

Характеристики

Категория

Вакуумметр

Производитель

MKS Instruments

Страна

США

Тип

Цифровой

Мощность, кВт

2,2x10^(-2)

Назначение

Промышленный

Модель

Series 390 Micro-Ion ATM

Точность

1x10^(-8) - 100 mTorr: ±15% от показаний; 100 mTorr - 150 Torr: ± 10% от показаний; 150 mTorr - 1000 Torr: ± 2,5% от показаний

Диапазон показаний, торр

1×10^(-9) - Атм

Интерфейсный разъем

RS-485 / DeviceNet

Электробезопасность

2004/108/EC; EN61326-1

Внутренний объем, см3

10,8

Температура хранения

от -40 до 70

Температура отжига, °C

105

Материалы, обращённые в вакуум

Нержавеющая сталь 304, тантал, вольфрам, покрытый иттрием иридий, оксид алюминия, эвтектика CuAg, Ковар®, золото или никелированный ковар, боросиликатное стекло

Воспроизводимость

1x10^(-8) - 100 mTorr: ±5% от показаний; 100 mTorr - 150 Torr: ± 2,5% от показаний; 150 mTorr - 1000 Torr: ± 1% от показаний

Тип сенсора

Ионизационный

Температурный режим, °С

от 0 до 40

Напряжение, В

24

Вес, кг

0,728